中圖儀器SuperViewW白光干涉表面微觀形貌檢測系統(tǒng)基于白光干涉原理，通過干涉物鏡產生干涉條紋,，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x,。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

SuperViewW白光干涉表面微觀形貌檢測系統(tǒng)可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據處理和分析步驟,，結合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據處理功能：提供位置調整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據處理功能,；

7)數(shù)據分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據需求參數(shù)定制數(shù)據處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據報表導出：支持word,、excel,、pdf格式的數(shù)據報表導出功能，支持圖像,、數(shù)值結果的導出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié),、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設備調試和故障排查提供定量依據,；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數(shù)據的高精度,；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護,，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲,；設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

產品特點

1、白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

2、針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求,，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙。

應用領域圖片

對各種產品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

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